江州,江南之芯集团,pFL光子芯片项目组作战室。
屏幕上,是一张显微镜下的晶圆剖面图。
“这就是我们从国内现有供应商那里买到的最好的铌酸锂晶圆。”
汪韬指着屏幕上那些肉眼不可见的微小裂纹和杂质点,声音冰冷。
“损耗率:0.5 db\/cm。”
“对于普通的光纤通信,如SAw滤波器,这个指标够用了。但是,”汪韬摇了摇头,“对于我们的光子计算芯片,这是灾难。”
“我们需要在芯片上集成数万个马赫曾德尔干涉仪。光信号每经过一个节点,损耗就会累积。如果基底材料不够纯,光走到一半就熄灭了。”
“我们需要的是光学级晶圆。损耗必须低于0.1 db\/cm。”
“目前,全球只有日本信越化学能做到。”
“而他们,断供了。”
林远看着那张充满瑕疵的图片,眉头紧锁。
“国内的产能呢?”
“国内主要做的是声学级晶体,用来做手机滤波器的。纯度不够,缺陷密度太高。”王海冰补充道,“中科院硅酸盐研究所虽然有实验室级别的技术,但无法量产。他们的生长炉太小,而且良率极低。”
“那就放大它。”林远斩钉截铁,“把实验室搬到工厂去。”
“去哪?”
“东海。”林远指着地图上苏北的一个县级市,“中国的水晶之都。那里有几千家做水晶和压电陶瓷的小工厂,虽然技术落后,但他们有熟练工,有炉子。”
江苏,东海县,某废弃的压电晶体厂。
林远收购了这家濒临破产的工厂,将其改造成了启明晶体材料研究院的临时基地。
厂房里,几十台巨大的单晶生长炉正在轰鸣。
站在林远身边的,是被他从上海请来的中科院硅酸盐所的严教授。一位跟晶体打了一辈子交道的老专家。
“林董,您把事情想简单了。”严教授看着那些炉子,叹了口气。
“铌酸锂晶体的生长,用的是提拉法。把高纯度的氧化铌和碳酸锂粉末,放在铱金坩埚里,加热到1260度熔化。然后,放下一根籽晶,慢慢旋转,慢慢向上提拉,让熔体在籽晶末端结晶,长成一根晶棒。”
“这个过程,像是在钓鱼,也像是在拉面。”
“日本人的核心机密,在于温场的控制。”
严教授指着炉膛内那耀眼的白炽光芒。
“晶体生长界面,固液共存。温度梯度哪怕波动0.1度,或者提拉速度哪怕抖动1微米,晶格就会错位,产生位错和层错。”
“一旦产生缺陷,光在里面传输时就会发生散射,损耗就上去了。”
“日本人的炉子,有一套极其复杂的热场结构,能保证温度场像湖面一样平静。而我们的国产炉子……”严教授苦笑,“里面的热对流简直像开水一样翻滚。”
“那就让水静下来。”林远看向汪韬。
“汪总,盘古能不能算?”
“能算。”汪韬点头,但神色严峻,“但这属于流体力学+热力学+结晶学的多物理场耦合仿真。”
“我们需要在计算机里,模拟坩埚里每一个分子的热运动。”
“这需要海量的算力。”
“算力管够!”林远大手一挥,“青川智算中心,划出30%的算力,专门给严教授烧炉子!”
接下来的两周,东海县的这座工厂,变成了全球最昂贵的“网吧”。
数百名工程师,配合着远在青川的数万张GpU卡,在虚拟世界里,进行了上亿次的“生长模拟”。
“尝试第1503号热场结构设计……”
“调整加热器功率分布曲线……”
“优化坩埚旋转速率……”
终于,AI给出了一个反直觉的最优解。
“不对啊。”严教授看着AI生成的温场控制曲线,直摇头,“按照经验,提拉速度应该恒定。但AI建议我们,在晶体生长到肩部时,要突然加速,然后再减速?”
“这违反常识。”
“严教授,”林远看着他,“在这个时代,经验往往是偏见。AI看到了我们看不到的微观湍流。”
“试一次。”
严教授咬咬牙:“好!听AI的!点火!”
炉温升至1260度。
籽晶下种。
提拉开始。
所有人都屏住了呼吸,盯着监控屏幕上的液面。
按照AI的指令,机械臂在某一刻突然做出了一个极其微小的变速动作。
奇迹发生了。
原本在液面上躁动不安的对流条纹,突然消失了。液面变得如镜子般平滑。
晶体像一根透明的冰柱,缓缓从熔体中长了出来。
三天三夜后。
一根直径4英寸,长20厘米,通体晶莹剔透,毫无杂质的铌酸锂晶棒,出炉了。
“神了……”严教授抚摸着还带着余温的晶棒,老泪纵横,“我搞了一辈子晶体,没见过这么完美的晶格结构。”
测试结果:
晶格完整性: 99.99%。
光学均匀性: 优于日本信越化学的标准品。
第一关,过了?
不,并没有。
有了晶棒,还要把它切成薄如蝉翼的晶圆。
这才是真正的噩梦开始。
“林董,坏消息。”王海冰拿着一片刚刚切下来的晶圆碎片,脸色难看。
“我们的晶棒虽然长得好,但是太脆了。”
“铌酸锂是一种铁电材料,它内部存在着强烈的内应力。”
“当我们用金刚石线锯去切割它时,一旦应力释放,晶圆就会直接炸裂。”
“我们试切了十片,碎了八片。剩下的两片,表面全是微裂纹。”
“日本是怎么做的?”林远问。
“他们用的是日本迪斯科公司的特制划片机和研磨机。”王海冰咬牙切齿,“而且,他们在切割前,会进行一道特殊的退火工艺,消除内应力。”
“但是,退火的温度曲线,是绝对机密。”
“如果我们自己摸索,可能需要烧废几百根晶棒,耗时一年。”
时间,又是时间。
林远看着那堆碎片,心中焦急。
pFL实验室等着米下锅。每拖一天,光子芯片的进度就落后一天。
“不能用机械切割。”
一个声音突然从角落里传来。
是李振声教授。他刚刚从美国飞回来,时差还没倒过来。
“李教授?”
“铌酸锂不仅脆,而且对温度极其敏感。”李振声拿起碎片,“机械切割会产生热量,导致晶圆表面电荷积聚,甚至放电击穿。”
“我在美国的时候,见过一种新的技术路线。”
“离子注入剥离。”
“什么?”严教授愣住了,“那不是用来做绝缘体上硅的技术吗?”
“原理是一样的。”李振声解释道。
“我们不切它。我们用高能氢离子,注入到晶棒的表层下方。”
“离子会在晶格内部形成一个气泡层。”
“然后,加热。”
“气泡膨胀,这一层薄薄的单晶薄膜,就会自动从晶棒上剥离下来!”
“不需要锯子,不需要磨削。”
“剥离出来的薄膜,厚度只有几百纳米,而且表面原子级平整!”
“然后,我们把这层薄膜,键合到便宜的硅衬底上。”
“这就叫绝缘体上铌酸锂技术。”
“这不仅解决了加工难题,因为只需要极少量的铌酸锂,还大大降低了成本!”
林远眼睛亮了。
这是一个跨界打击的思路。
用半导体的工艺,去解决光学材料的加工难题。
“设备呢?”林远问,“离子注入机,我们有吗?”
“有。”王海冰点头,“中科院微电子所有一台国产的样机,虽然不如美国的Applied materials先进,但注入氢离子够用了。”
“键合机呢?”
“这也是个难题。”李振声皱眉,“铌酸锂和硅的热膨胀系数不同。高温键合会炸裂。我们需要常温键合技术。”
“目前,这项技术掌握在奥地利的EVG公司手里。”
“买!”林远毫不犹豫。
“买不到。”王海冰苦笑,“EVG也在瓦森纳协定名单里。”
又是一堵墙。
没有现成的键合机,就意味着无法把那层珍贵的薄膜贴到硅片上。
贴不上去,一切都是空谈。
“常温键合的原理是什么?”林远问。
“表面活化。”李振声解释,“在真空环境下,用等离子体轰击两个材料的表面,打断表面的化学键,让原子处于饥饿状态。”
“然后,把两个表面贴在一起。”
“原子之间会瞬间形成共价键,就像两个磁铁吸在一起一样。不需要胶水,不需要高温。”
“但这需要极高的真空度和极精密的等离子体控制。”
“如果我们自己造这台机器……”王海冰估算了一下,“大概需要半年。”
“太久了。”林远摇头。
他突然想到了什么。
“等一下。表面活化……等离子体轰击……”
“我们在江钢的工业之心项目里,是不是改造过一批等离子体清洗机?用来清洗汽车钢板表面的?”
“是。”孙大炮通过视频连线回答,“那是用来除油的,粗糙得很。”
“原理是一样的!”林远眼中闪过一丝疯狂。
“把那台清洗机拉过来!”
“我们要对其进行魔改!”
三天后,东海县工厂。
一台被拆得面目全非的工业清洗机,摆在无尘室里。
它的喷头被换成了高精度的离子源,真空泵被换成了分子泵。
“这是土法炼钢啊……”严教授看着这台“怪兽”,直摇头。
“不管黑猫白猫,能抓老鼠就是好猫。”林远站在控制台前。
“第一次键合实验,开始!”
机械臂夹着一片硅晶圆和一片刚剥离下来的铌酸锂薄膜,送入真空腔。
等离子体辉光亮起。
“轰击时间:30秒。”
“贴合压力:500牛顿。”
“出舱!”
两片材料被紧紧压在一起,送了出来。
李振声戴着手套,小心翼翼地拿起来,放在显微镜下。
所有人都屏住了呼吸。
“怎么样?”林远问。
李振声沉默了很久。
然后,他抬起头,脸上露出了难以置信的表情。
“结合力……完美。”
“界面无气泡,无裂纹。”
“我们……成功了?”
“不。”李振声指着边缘,“还有一个问题。”
“虽然贴上了,但是……不平。”
“我们的土炮清洗机,等离子体分布不均匀。导致薄膜表面出现了纳米级的波浪纹。”
“这种波浪纹,会导致光信号在传输时发生严重的散射损耗。”
“如果不磨平,这块晶圆,依然是废品。”
这就好比你铺好了地板,但地板是波浪形的,车根本开不快。
“抛光?”王海冰问,“我们没有化学机械抛光设备。那也是被禁运的。”
死循环。
解决了一个问题,又冒出一个新问题。
这就是基础工业薄弱带来的连锁反应。你缺的不仅仅是一台机器,而是整个产业链。
林远看着那块波浪形的晶圆。
他知道,常规手段已经用尽了。
必须用非常规手段。
“既然磨不平……”林远的声音突然变得很轻。
“那我们就不磨了。”
“什么?”众人大惊。
“我们用填坑。”
林远看向赵博士。
“赵博士,你们的光刻胶,是不是有一种特性叫平坦化?”
“是……”赵博士点头,“光刻胶是液体,涂在晶圆上,会自动流平,填补表面的坑洼。”
“那就对了!”林远打了个响指。
“我们在波浪纹上面,旋涂一层特制,折射率与铌酸锂完全一致的光学树脂。”
“把坑填平,然后再固化。”
“这样,光在传输时,就不会感觉到界面的起伏,因为它在光学上是均质的。”
这简直是作弊。
用化学材料去修补物理加工的缺陷。
“这……这能行吗?”李振声都惊呆了,“这在教科书上从来没写过。”
“教科书是给有设备的人写的。”林远冷笑,“我们是穷人,穷人就要有穷人的办法。”
“赵博士,马上调配树脂!折射率要精确匹配到小数点后四位!”
24小时后。
经过填坑处理的晶圆,被送入了测试台。
激光注入。
光信号在晶圆表面的波导中飞速传输。
检测仪上的数字开始跳动。
传输损耗:0.08 db\/cm。
低于0.1 db\/cm的标准!
达到了光学级!
“成功了!!!”
实验室里爆发出了震耳欲聋的欢呼声。
严教授抱着那块晶圆,像抱着自己的孩子一样痛哭流涕。
他们用一台改的清洗机,一桶化学胶水,加上无数个日夜的疯狂计算,硬生生地在简陋的厂房里,造出了全球最顶尖的LNoI光子晶圆。
这就是中国工程师的韧性。
这就是被逼到绝境后的爆发力。
林远站在人群后,看着那块闪烁着微光的晶圆。
他不仅解决了材料问题,还通过LNoI技术,将成本降低了90%!
材料有了,设备有了。
光子芯片的量产,已经没有了物理障碍。
但是,就在林远准备全速推进时。
一个来自欧洲核子研究中心的邮件,发送到了李振声的邮箱里。
邮件只有一句话:
“我们在大型强子对撞机的实验数据中,发现了一个关于光子纠缠的异常现象。这可能会颠覆你们所有的光子计算架构。如果不解决这个问题,你们造出来的光子芯片,可能会变成量子炸弹。”